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    真空泵及有关术语

    日期: 2018-08-14
    查看: 24

    2.1真空泵vacuum pum产生、改善和(或)维持真空的装置。基本上分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。

    2.1.1容积真空泵ositive dilacement pump:容积真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气的装置。气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。2.1.1.1气镇真空泵 gas ballast vacuum pump:泵工作中,经气镇阀放入适量的非可凝性气体到泵的压缩室,以降低被抽气体中可凝性蒸汽在泵内凝结程度的容积真空泵。4.1.1.6~4.1.1.10的容积真空泵均可装气镇装置。

    2.1.1.2油封(液封)真空泵oil sealed (liquid-sealed) vacuum pump:利用油类密封各运动部件间的间隙和减少压缩室有害空间的旋转容积真空泵。

    2.1.1.3干封真空泵 dry-sealed vacuum pump:不用油类(或液体)密封的容积真空泵。

    2.1.1.4往复真空泵 piston vacuum pump:利用泵腔内活塞往复运动,将气体压缩并排出的容积真空泵。

    2.1.1.5液环真空泵liquid ring vacuum pump:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水)抛向泵壳并形成与泵壳同心的液环,液环同转子叶片形成了容积周期变化的旋转容积真空泵。

    2.1.1.6旋片真空泵liding vane rotary vacuum pump:转子偏心的装在泵壳内并同泵壳内表面固定面相切,在转子内装有二个(或二个以上)旋片,当转子旋转时滑片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触,将泵腔分为几个可变容积的旋转容积真空泵。

    2.1.1.7定片真空泵rotary piston vacuum pump:在泵壳内装有一个与泵壳内壁相接触的偏心转子,泵壳上装有一片始终与转子表面接触的径向滑片,当转子旋转时滑片上、下滑动将泵腔分成两个可变容积的旋转容积真空泵。

    2.1.1.8滑阀真空泵rotary plunger vacuum pump:在偏心转子外有一滑阀环,转子旋转时带动滑阀环沿泵壳内壁滑动和滚动,固定在滑阀环上的滑阀杆能在装于泵壳适当位置可摆动的滑阀导轨中滑动,而把泵腔分成两个可变容积的旋转容积真空泵。

    2.1.1.9余摆线真空泵trochoidal vacuum pump:在泵壳内,偏心装有一个余摆线型转子,它沿泵壳内壁滑动并将泵腔分成两个可变容积的容积真空泵。
    2.1.1.10多室旋片真空泵multi-chamber sliding vane rotary vacuum pump:在一个泵壳中并联装有由同一电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。

    2.1.1.11罗茨真空泵 roots vacuum pump:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形转子,转子间,转子同泵壳内壁保持一定的间隙的旋转容积真空泵。
    2.1.2动量传输泵kinetic vacuum pump:高速旋转的叶片或射流,把动量传输给气体或气体分子,使气体连续不断的从入口传输到出口的真空泵。

    2.1.2.1牵引分子泵molecular drag pump:气体分子与高速转动的转子相碰撞而获得动量,被送到出口的一种动量传输泵。

    2.1.2.2涡轮分子泵turbo molecular pump:泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子,它在定子对应的圆盘间旋转。转子圆周的线速度和气体分子速度是相同的量级的,泵通常在分子流条件下工作。

    2.1.2.3喷射真空泵ejector vacuum pump:利用文丘里(venturi)效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出中的一种动量传输泵。喷射真空泵适于粘滞流和过渡流条件下工作。

    2.1.2.4液体喷射真空泵liquid jet vacuum pump:以液体(通常为水)为工作介质的喷射真空泵。

    2.1.2.5气体喷射真空泵gas jet vacuum pump:以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。

    2.1.2.6蒸汽喷射真空泵vapor jet vacuum pump :以蒸汽(水、油、汞等蒸汽)作为工作介质的喷射真空泵。

    2.1.2.7扩散泵diffusion pump :以低压高速蒸汽流(油或汞等蒸汽)作为工作介质的气体动量传输泵。气体分子扩散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是低的。这种泵适于分子流条件下工作。

    2.1.2.8自净化扩散泵self purifying diffusion pump:泵液中的易挥发杂质经专门的机构输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。

    2.1.2.9分馏扩散泵 fractionating diffusion pump :这种泵具有分馏装置,使蒸汽压力较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴,而蒸汽压力较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴中的一种多级油扩散泵。

    2.1.2.10扩散喷射泵diffusion ejector pump :有扩散泵特性的单级或多级喷嘴和具有喷射泵特性的单级或多级喷嘴组成的动量传达室输泵。

    2.1.2.11离子传输泵ion trafer pump:被电离的气体在电磁场或电场的作用下,输送到出口的一种动量传输泵。

    2.1.3捕集真空泵 entrapment vacuum pump:气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。

    2.1.3.1吸附泵adsorption pump:主要用具有大表面的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的捕集真空泵。

    2.1.3.2吸气剂泵 getter pump:用吸气剂以化学结合方式捕获气体的捕集真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。

    2.1.3.3升华(蒸发)泵ublimation (evaporation)pump :一种用间断或连续方式升华(蒸发)吸气材料以达到抽气目的的捕集真空泵。

    2.1.3.4吸气剂离子泵getter ion pump:被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的泵内表面上的捕集真空泵。

    2.1.3.5蒸发离子泵 evaporation ion pump :泵内被电离气体传输到以间断或连续方式升华或蒸发而覆在泵内壁的吸气材料上而被吸附的一种吸气离子泵。

    2.1.3.6溅射离子泵utter ion pump :泵内电离的气体,被吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上的吸气剂离子泵。

    2.1.3.7低温泵cryopump:利用低温表面捕集气体的真空泵。

    2.2真空泵零部件

    2.2.1泵壳 pump case:将低压力气体与大气隔开的泵的外壳。

    2.2.2入口 inlet:真空泵的吸气口。

    2.2.3出口outlet:真空泵的出口。

    2.2.4旋片(滑片、滑阀)vane; blade :在一些容积真空泵中,将泵腔分成若干部分的滑动零件。

    2.2.5排气阀discharge valve:在一些旋转容积真空泵中,从压缩室排气的自动阀。

    2.2.6气镇阀gas ballast valve:在气镇真空泵的压缩室安装的一种起气镇作用的充气阀。

    2.2.7膨胀室expaion chamber:在一些容积真空泵泵腔内,被抽气体进入逐渐增大的空间。

    2.2.8压缩室compreion chamber:进入容积真空泵泵腔的气体,在排出之前被压缩,使其体积逐渐减小的的空间。

    2.2.9真空泵油vacuum pump oil:在油封真空泵中,用来密封、冷却和润滑的液体。

    2.2.10泵液 pump fluid:喷射真空泵、扩散泵或扩散喷射泵的工作液。

    2.2.11喷嘴 nozzle:为使喷射真空泵、扩散泵或扩散喷射泵起抽气作用而对射流导向的部件。

    2.2.12喷嘴喉部nozzle throat:喷嘴的最小横截面。

    2.2.13喷嘴扩张率nozzle expaion rate:喷嘴出口面积和喷嘴喉部面积之比。

    2.2.14喷嘴间隙面积ozzle clearance area:喷嘴出口外缘和泵壳之间最小横截面积。

    2.2.15喷嘴间隙nozzle clearance:决定喷嘴间隙面积的环的宽度。

    2.2.16射流jet:从喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵喷嘴喷射出的工作介质流。

    2.2.17扩散器diffuser:喷射泵壁的收缩部分、喉部及扩张部分的总和。

    2.2.18扩散器喉部diffuser thoat:扩散器的最小截面部分。

    2.2.19蒸汽导管vapor tube(pipe;chimney):在蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵中,从锅炉到喷嘴的连接管。

    2.2.20喷嘴组件nozzle aembly:蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的喷嘴与蒸汽导管的组装件(一般指可拆卸部件)。

    2.2.21下裙skirt:喷嘴组件下部的扩大部分。它使返回冷凝的泵液与锅炉产生的蒸汽分开。

    2.3附件

    2.3.1阱trap:用物理或化学的方法来降低气体混合物中蒸汽压力的装置。

    2.3.1.1冷阱 cold trap:通过冷却表面凝结作用工作的阱。

    2.3.1.2吸附阱sorption trap:以吸附方式工作的阱。

    2.3.1.3离子阱ion trap:利用电离方法工作的阱。

    2.3.1.4冷冻升华阱 cryosublimation trap:用间断方式把吸气剂材料升华并沉积到阱的冷却表面上来吸附气体和凝结泵液蒸汽的阱。

    2.3.2挡板baffle:装在蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵入口,用以降低泵液返流和返迁移的遮挡装置(也可用冷却方式)。2.3.3油分离器oil separator:装在真空泵出口处,用以减少以微滴形式被带走的泵油的装置。通常用于变容真空泵中。

    2.3.4油净化器oil purifier:从泵油中清除污染物的装置。

    2.3.5冷凝器condeer:用以冷凝混合气流中水蒸汽的装置。

    2.4泵按工作分类2.4.1主泵main pump:在真空系统中,用来获得所要求的真空度的真空泵。2.4.2粗抽泵roughing vacuum pump:从大气压开始降低系统的压力到另一抽气系统开始工作的真空泵。

    2.4.3前级真空泵backing vacuum pump:用以维持另一个泵的前级压力在其临界前级压力以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用。

    2.4.4粗(低)真空泵 roughing(low)vacuum pump:从大气开始降低容器压力的真空泵。

    2.4.5维持真空泵holding vacuum pump:在真空系统中,当气体量很小时,不能有效的利用主前级泵,为此,在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵维持主泵正常工作或维持已抽空容器所需之低压的真空泵。

    2.4.6高真空泵high vacuum pump:在高真空范围工作的主真空泵。

    2.4.7超高真空泵ultra-high vacuum pump:在超高真空范围工作的真空泵。

    2.4.8增压真空泵booster vacuum pump:装于高真空泵和前级泵之间,用来提高抽气系统在中间压力范围的抽气量或者降低对前级泵容量要求的真空泵。

    2.5真空泵特性

    2.5.1真空泵的抽气速率(体积流率)volume flow rate of a vacuum pump:当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。

    2.5.2真空泵的抽气量Q throughput of vacuum pump:流经泵入口的流量。

    2.5.3起动压力starting preure:泵无损坏起动并有抽气作用的压力。

    2.5.4前级压力acking preure :排气压力低于一个大气压力的真空泵的出口压力。

    2.5.5临界前级压力critical backing preure:蒸汽喷射泵或扩散泵、扩散喷射泵所许可的最高前级压力值,超过了此值就破坏正常工作。当前级压力稍高于临界前级压力时,还不致于引起入口压力的显著增加。蒸汽流泵的临界前级压力主要决定于抽气量。 注:某些泵政党工作的破坏不会突然出现,所以临界前级压力不能准确指出。

    2.5.6最大前级压力maximum backing preure:超过了能使泵损坏的前级压力

    2.5.7最大工作压力maximum working preure:对应最大抽气量的入口压力。在此压力下,泵能连续工作而不恶化或损坏。

    2.5.8真空泵的极限压力ultimate preure of a pump:泵装有标准试验罩并按规定条件工作,在不引入气体正常工作情况下,趋向稳定的最低压力。

    2.5.9压缩比compreion ratio:泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。

    2.5.10何氏系数Ho coefficient:蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵喷嘴间隙面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。

    2.5.11抽速系数eed factor:蒸汽喷射泵或扩散泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。

    2.5.12气体的反扩散back-diffusion of gas:从真空泵出口向入口与抽气作用相反方向的气体流动。

    2.5.13泵液返流back-streaming of pump fluid:泵液通过泵入口(或者附属挡板或阱)与被抽气体流动方向相反的流动。

    2.5.14返流率back-streaming rate:泵按规定条件工作时,通过泵入口单位面积的泵液质量流率。

    2.5.15返迁移back-migration:a蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的泵液分子沿表面移动进入被抽容器。B油封真空泵的泵油分子沿表面移动进入被抽容器。

    2.5.16爆腾bumping:泵液在锅炉内由于局部过热产生的不稳定蒸发。

    2.5.17水蒸气允许量qmwater vapor tolerable load:在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流率。

    2.5.18最大允许水蒸气入口压力maximum tolerable water vapor inlet preure:在正常环境条件下,气镇泵在连续工作时被抽气体中水蒸气的最高入口压力。

    2.5.19蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的加热时间warm-up time for a vapor jet pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump:锅炉中泵液的温度达到它正常工作温度所需要的时间。起始温度可以是环境温度,也可以是泵安全暴露大气的温度。

    2.5.20蒸汽喷射泵、扩散泵或扩散喷射泵的冷却时间cool-down time for a vapor jet pump or a diffusion pump or a diffusion ejector pump:泵停止加热后,锅炉中的泵液从正常工作温度降到可以安全暴露大气时的温度所需要的时间。

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